​低温真空泵的选型技术

2018-03-10 16:53:44 天津市空气压缩机有限公司 0

低温真空泵是低用低温(低于100K)表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。它有很多优点:

①起始压力高(原则上可从大气压开始抽气),极限压力低,可达10﹣13Pa,因此,其工作范围压力宽;

②抽速大,对于20℃空气,最大抽速可达11.6L(s·cm2);

③可以抽除各种气体,从而获得清洁的超高真空;

④作为大容量的排气系统,占地面积小,电力消耗少;

⑤有极大的灵活性,可以做成插入式,用于无法布置其他类型泵的场合。低温真空泵运行时需要冷剂或制冷设备。

低温真空泵的应用范围非常广泛:

①在空间科学技术中,宇宙空间存在着真空和低温状态,外层空间的真空度可达10﹣14Pa,温度为3K左右。因此,低温真空是宇宙空间模拟的理想设备。此外,研究空间条件下材料表面现象,低压空气动力学试验,火箭发动机高空点火试验,空间生物技术等,都用低温真空泵。

②应用在高能物理、等离子体和核聚变研究中。

③应用在薄膜制备领域。

④应用在微电子学,尤其是半导体微电子技术,如离子注入,离子刻蚀等。

⑤应用在近代科学仪器中,如扫描电镜、电子衍射仪等各种分析仪器。